1.       Başvuru sahibinin Bakanlık kayıt sistemine kayıtlı olduğuna dair belge (ÇKS VEYA ÜRETiM İZNİ)

2.       Başvuru sahibi kuruluşun ticaret sicil gazetesinde yayımlanmış tüzük veya ana sözleşmesi

3.       Tüzel kişiler için Ticaret ve Sanayi Odasından alınmış Oda Sicil Kayıt Belgesi ve Faaliyet Belgesi

4.       Yatırım için yetkili kurul kararı ile yetkilendirme kararı

5.       Yetkilendirilen kişiye ait imza sirküleri

6.       Projesinde varsa ayni katkının karşılanacağına dair taahhütname

7.       İnşaat varsa, inşaat metrajı, keşif özeti ve teknik Şartnamesi

8.        Makine ekipman varsa, makine ekipman teknik Şartnamesi

9.       Başvuru sahibinin kar-zarar hesabı ve son yıl bilanço hesapları  (Başvuru yılında faaliyete geçenler hariç).

10.   Proje başvuruları için avan / tatbikat projesi

11.    Proje başvuruları için alınması planlanan makine ve ekipmana ait ölçekli yerleşim planı

12.   Başvuru sahibine ait yatırım yeri mülkiyet (tapu) belgesi/ kamu kurum ve kuruluşları ile yapılan kira kontratı veya tahsis belgesi

13.   Faal olan tesise ait hibe başvuruları için üretim izin belgesi

14.   Faal olan tesise ait hibe başvuruları için kapasite raporu veya ekspertiz raporu

15.   Faal olan tesise ait hibe başvuruları için yapı kullanma izin belgesi

16.   Tamamlama proje başvuruları için yapı ruhsatı veya yapı kullanma izin belgesi

17.   Yatırım yerinin icralı, davalı olmadığına ilişkin yatırımcı beyanı

18.   Yeni ve tamamlama konusunda yatırım yerinin (Organize Sanayi Bölgesi, İhtisas Küçük Sanayi Sitesi hariç) ipotekli ve Şerhli olmadığına ilişkin tapu müdürlüğünden alınan belge

19.    Kapasite artırımı ve teknoloji  yenileme  konusunda yapılan başvurularda; yatırım yeri ipotekli ise, ilgili bankadan alınan olumlu görüş yazısı